精密洗浄技術(shù)
継続的に向上している半導(dǎo)體制の要求に対応するために、アメリカ、日本の一流技術(shù)の支持を頼りに、陶磁器の溶射技術(shù)の研究開(kāi)発と量産を成功させました。
表面処理事業(yè)部発足。
350nmプロセス半導(dǎo)體PVD、CVDおよびエッチャー裝置部品洗浄プロセスを開(kāi)発して、量産開(kāi)始。
250nmプロセス半導(dǎo)體PVD、CVDおよびエッチャー裝置部品洗浄プロセスを開(kāi)発、量産開(kāi)始。
精密洗浄技術(shù)開(kāi)発センター設(shè)立。
FPD製造裝置部品洗浄業(yè)務(wù)開(kāi)始。
半導(dǎo)體およびFPDメーカとの取引拡大。
天津富楽徳科技発展有限公司設(shè)立。
45nmプロセス半導(dǎo)體製造裝置部品の洗浄技術(shù)確立、量産開(kāi)始。
G8.5FPD製造裝置部品量産開(kāi)始。
四川富楽徳科技発展有限公司設(shè)立。28nmプロセス導(dǎo)體製造裝置部品の量産開(kāi)始。
富楽徳科技発展(大連)有限公司設(shè)立。
G10.5液晶製造裝置部品量産開(kāi)始。
アルミ溶射量産開(kāi)始。
G6H有機(jī)EL製造裝置部品および16nmプロセス半導(dǎo)體製造裝置部品の洗浄プロセス確立。
富楽徳(大連)は大連工場(chǎng)の表面処理分析実験室の原形を建立し、超音波斷層スキャン顕微鏡を投入し、CMM、He detector、
電位滴定計(jì)、LPC及びICP MSなどのハイテク設(shè)備を設(shè)置し、高純英石英線(xiàn)を建設(shè)し、ハイエンド設(shè)備をオンラインする。